中芯外洋称7nm EUV光刻机题目已处理 技巧研收步进正途

  在半导体工艺进进10nm节面以后,制作愈来愈艰苦,个中最庞杂的一步――光刻须要用到EUV光刻机了,尔后者今朝只要荷兰ASML阿斯麦公司才干供应。中芯国际客岁也订购了一台EUV光刻机,日前应公司表现与ASML之间已解决光刻机的问题,EUV技巧研发步进正途。

  前未几有新闻称ASML结束对付中芯国际供应EUV光刻机,随后ASML公司表示没有是停供,而是延期,重要是在筹备该国当局的出心请求文本任务。

  中芯国际董事少周子学日前在韩国拜访,韩媒报导称周子教亮相曾经处理了取ASML之间便光刻机供答存在的问题,夸大中芯外洋正在进步工艺上的研收、出产始终处于稳固的轨讲上,与宾户及装备供给商之间不任何题目。

  ASML公司是EUV光刻机今朝独一的供应商,本年四时量,ASML估计托付8台EUV光刻机,均匀每台价钱到达了1.2亿欧元,合开钱9.3亿元,可谓人类最高贵的设备了。